半导体行业专题研究（普通）：SEMICON China 2025：国产设备密集发布，替代迈向新台阶

　　本期内容提要:

　　SEMICON China大会如火如荼，国产半导体设备备受瞩目。3月26日-28日，SEMICON China2025于上海召开，作为中国规模最大、最全面的半导体行业展览会之一，今年SEMICON China展览面积达10万平方米，全球1400多家知名企业参展，涵盖芯片设计、晶圆制造、封装测试、EDA/IP、半导体设备及材料等全产业链。其中，半导体设备与材料领域表现活跃，厂商齐聚，集中展示了前沿成果与创新方案。同时，AI与新能源浪潮下，先进封装与第三代半导体热度居高不下，在今年展会上备受瞩目。1）北方华创：进军离子注入设备市场，发布首款离子注入机Sirius MC313，同时发布首款12英寸电镀设备（ECP）Ausip T830，专为TSV铜填充设计。2）中微公司：发布12英寸边缘刻蚀设备PrimoHalona，关键工艺全面覆盖再进一步，公司在等离子体刻蚀技术领域再次实现重大突破，反应台之间的刻蚀精度已达到0.2A（亚埃级）。3）拓荆科技：集中发布ALD系列、3D-IC及先进封装系列，CVD系列新品。

　　新凯来首次参展，发布三十余款设备。新凯来成立于2022年，致力于先进半导体工艺装备、量检测装备的开发与制造，打造可靠的产业基础和平台。在本次SEMICON China2025展会期间，新凯来正式发布了6大类31款新品。我们认为，新凯来的参会及后续产品量产或对国内半导体设备市场格局产生一定影响，但在半导体设备国产替代大背景下，关键设备领域仍有较大替代空间，国产半导体设备供应商或都将受益于下游Fab扩产投资拉动的需求增长，且新参与者的竞争有利于国内设备厂商进一步的技术突破，国产替代有望迈向新台阶。

　　国内半导体设备不断突破带来新品，国产替代进程有望提速。我们看到在SEMICON China2025展会上国内半导体设备、零部件和材料供应商百花齐放，众多参展公司产品不断拓展，这一趋势迎合了国内晶圆厂扩产所带来的需求，同时在美国半导体制裁不断趋严的大环境中，国产设备的突破有望加速替代，建议关注半导体设备、零部件和材料产业链优质公司：【设备】北方华创、中微公司、拓荆科技、精测电子等；【零部件】茂莱光学、福晶科技、富创精密等；【材料】鼎龙股份、安集科技、兴森科技等；【Fab】中芯国际、华虹公司等。

　　风险提示：半导体国产替代进程不及预期，下游需求发展不及预期。

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