专用设备行业点评报告：半导体设备：新凯来即将亮相湾芯展，看好先进制程设备国产化持续提升

　　投资要点

　　新凯来即将亮相湾芯展，有望推出关键设备：近日深圳发改委主任在新闻发布会上透露，新凯来及其子公司将会在2025湾区半导体产业生态博览会上带来惊喜。鉴于新凯来在3月份的上海展会上一次性推出31款设备的“黑马”表现，此次或有更多关键半导体设备的重磅发布或技术突破。

　　看好关键设备国产化突破，利好先进制程扩产：过去几年我国半导体设备快速发展，刻蚀、薄膜沉积设备等均已有相应国产突破，但先进制程所需的关键设备国产化率仍有较大提升空间，例如光刻机国产化率为0、刻蚀和薄膜沉积设备国产化率也仅为20%左右。我们认为伴随关键设备的国产突破，先进制程扩产有望加速。此外伴随关税升级，看好自主可控赛道，半导体设备为重要一环，看好先进制程的关键设备进展突破。

　　设备国产化加速，利好零部件国产替代：刻蚀、薄膜沉积等关键设备国产化加速，关注相关零部件供应链标的，如新莱应材的管阀等产品基本已用于量检测、离子注入、刻蚀、薄膜沉积设备等；富创精密提供真空腔体、精密结构件；晶盛机电子公司晶鸿精密可以提供腔体、支架等金属结构件等。

　　投资建议：1）前道制程：刻蚀+薄膜沉积设备北方华创、中微公司，量测设备中科飞测、精测电子，薄膜沉积设备拓荆科技、迈为股份、微导纳米、晶盛机电等。（2）设备零部件：新莱应材、富创精密、正帆科技、晶盛机电等。

　　风险提示：下游扩产速度不及预期，设备国产化进程不及预期。

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东吴证券 周尔双,李文意