核心提要

　　电子束检测是先进制程关键设备

　　随着集成电路工艺节点减小， 缺陷尺寸减小、 缺陷密度增加、 漏检风险逐渐提升， 受益加速电压下的波长优势， 电子束检测技术精度较高， 且对于电性缺陷具有独特的识别能力。 先进制程及其配套产业链或将成为大基金三期的重点发力方向， 半导体前道量检测设备目前国产化率仅个位数， 电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障， 未来有望加速发展。

　　国内电子束检测设备市场有望快速发展

　　我们测算， 2024/2025年全球半导体量检测设备市场空间分别为159/196亿美元， 中国大陆半导体量检测设备市场空间分别为55/68亿美元， 全球电子束量检测设备市场空间分别约为25/34亿美元， 其中， 电子束关键尺寸量测市场空间分别为11/15亿美元， 电子束缺陷检测市场空间分别为6/8亿美元， 电子束缺陷复查设备市场空间分别为8/10亿美元。

　　电子束检测设备国产替代空间广阔

　　根据VLSI数据统计， 2023年全球半导体量检测设备行业CR5超过84%， 主要供应商包括KLA、 应用材料、 日立等， 其中柯磊半导体市占率高达55.8%。 电子束检测设备方面， 根据应用材料数据统计， 2021年应用材料、 日立、 阿斯麦、 KLA等企业的全球市占率分别为50%、 28%、 15%、 6%， 电子束检测设备国产供应商较为稀缺。

　　投资建议： 关注本土设备商产品进展

　　电子束检测设备国产替代有望加速， 维持半导体前道量检测设备行业“推荐” 评级。 建议关注精测电子、 东方晶源（ 未上市） 、 中微公司、 中科飞测。 1） 精测电子： 半导体产品持续完善， 明场检测持续发展， DR-SEM国内领先； 2） 东方晶源（ 未上市） ： 聚焦电子束检测、 计算光刻等产品， CD-SEM应用广泛， 积极布局DR-SEM； 3） 中微公司： 刻蚀设备国内领跑者， 加速布局量检测赛道， 或将发力电子束检测市场； 4） 中科飞测： 聚焦半导体量检测， 产品种类持续丰富。

　　风险提示： 半导体设备国产替代不及预期； 行业竞争加剧风险； 市场空间测算偏差风险； 重点关注公司业绩不及预期； 研究报告使用的公开资料可能存在信息滞后或更新不及时的风险。