导读：12月02日，国内领先的半导体设备零部件公司先锋精科闯关科创板，其新股申购受到了市场热烈追捧。12月03日，美国商务部发布新一轮对华政策，新增了136家中国半导体设备厂商的限制，核心矛头直指半导体设备零部件的供应问题。半导体设备零部件到底有多重要？半导体设备零部件国产替代到了什么阶段？投融现状如何？本文尝试分析和探讨。

　　零部件为何成为焦点

　　半导体设备零部件的重要性持续提升。半导体设备零部件是指在材料、结构、工艺、品质、精度、可靠性及稳定性等性能方面达到了半导体设备及技术要求的零部件。众所周知，先进制程的进步很大程度上要归结于半导体设备的进步。作为半导体设备的重要组成部分，零部件的质量、性能和精度优劣直接决定了半导体设备的可靠性和稳定性，是半导体设备的核心技术保障。

　　以讨论较多的光刻机为例，其性能由光源系统、光学系统、双工件台系统等核心零部件决定。光源系统是光刻机中提供曝光光源的部分，其性能直接影响光刻机的分辨率，其光源波长越短，光刻机能实现的最小特征尺寸就越小；光学系统是光刻机中负责将掩膜上的图案精确地成像到晶圆上的部分，主要包括照明系统和投影物镜系统。照明系统负责将光源发出的光均匀地照射到掩膜上，而投影物镜系统则将掩膜上的图案缩小并精确地投影到晶圆上。光学系统的性能直接影响光刻机的分辨率和套刻精度；双工件台系统是光刻机中负责快速、精确地移动晶圆的部分。双工件台系统能够在纳秒级时间内完成晶圆的定位和移动，确保每次曝光的精度。光刻机对零部件要求如此之高，几乎集成了全世界的领先科技，如德国蔡司、美国Cymer等。在先进制程使用的半导体设备复杂度大大提升，厂商不得不抛弃自研，采购专业性强、精度高的零部件，这也使得半导体设备零部件的重要性大大提升。

　　从主要材料和使用功能的角度，半导体设备零部件的主要类别包括机械类、电气类、机电一体类、真空类、仪器仪表类、光学类等。根据芯谋研究数据，2021年全球半导体设备零部件细分市场中，机械类占比最大（27%），真空系统次之（20%），机电一体类（18%）、光学类（18%）、电气类（13%）、仪器仪表（2%）紧随其后。

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深圳来觅数据信息科技 李沛瑶